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PCE-66紫外臭氧清洗機(jī)（帶攪拌機(jī)構(gòu)）是一款小型紫外臭氧清洗機(jī)，可用于清洗各種單晶基片，以保證更好的成膜質(zhì)量。同時(shí)也可去除光刻膠、改善材料表面潤濕性、清洗SEM和TEM樣品及紫外活化聚合物等。內(nèi)置加熱管，可加熱基片，加熱溫度上限150℃，PID方式控溫，可設(shè)置30段升降溫程序。帶有攪拌功能，用作氧化物包括干法電極電池正極材料的表面處理。

PCE-66紫外臭氧清洗機(jī)是一款小型紫外臭氧清洗機(jī)，可用于清洗各種單晶基片，以保證更好的成膜質(zhì)量。同時(shí)也可去除光刻膠、改善材料表面潤濕性、清洗SEM和TEM樣品及紫外活化聚合物等。內(nèi)置加熱管，可加熱基片，最高加熱溫度150℃，PID方式控溫，可設(shè)置30段升降溫程序。

PCE-22紫外臭氧清洗機(jī)提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段，特別適合清除一些有機(jī)化合物。

PCE-22-LD紫外臭氧清洗機(jī)采用不需要任何溶劑的干式清洗技術(shù)，對清洗表面沒有損傷。采用大功率低壓石英汞燈，產(chǎn)生波長185nm和254nm的紫外線，185nm的光可以將氧分子O2轉(zhuǎn)變成活性的臭氧分子O3，254nm的光同時(shí)激發(fā)清洗表面的有機(jī)分子，使其更容易被臭氧分子吸收并分解。由于臭氧分子存在時(shí)間短，且同時(shí)也被254nm的光分解，因此可調(diào)節(jié)樣品臺到燈管的距離來優(yōu)化性能。